主要技术指标:
自调整分子泵系统，炉管径Φ200mm，极限真空8×10-3 Pa。
SiC衬底托盘 Φ100㎜，最高温度1000oC。
服务项目：
粉末，薄膜样品快速退火。
存放地点：
物理楼101号。
负责人及联系方式：
谢伟
手机：13822541773
