主要技术指标:
扫描长度:≤30mm;
垂直测量范围(最大台阶高度):≤1.9mm;
扫描速度:2μm/s到200μm/s;
垂直范围分辨率:2.5μm台阶高度内测量分辨率0.1nm;
重复精度:0.6nm或0.1%台阶高度
最大样品厚度:≤20mm;
服务项目:
可测量样品粗糙度、波纹度和厚度。可测量各种材料,包括:磁盘、半导体晶圆、精密加工和抛光面、微电子陶瓷、平面显示器玻璃、光学表面
存放地点:
榕楼305号。
负责人及联系方式:
谢伟
手机:13822541773